Výrobafluorid vzácných zeminprobíhá především pomocí následujících metod:
Fluorace kyselinou fluorovodíkovou. Při této metodě se suchý plynný fluorovodík nechá reagovat s oxidy vzácných zemin při 650 až 700 stupních, aby se získal vysoce čistý bezvodýfluorid vzácných zemin. Tento proces zahrnuje použití horizontální stacionární fluorační pece, ve které jsou kalcinované oxidy vzácných zemin zabaleny do platinové lodičky nebo niklové nádoby, umístěny do pece, zahřáté na 650 stupňů nebo 700 stupňů a udržovány v teple po dobu 4 až 5 hodin po ukončení procesu. pec se utěsní, pak se ochladí na 300 stupňů a poté se zastaví pro plyn HF a pokračuje se v chlazení pod 100 stupňů pro vypuštění.
Fluorace bifluoridu amonného. Tato metoda využívá pevný bifluorid amonný jako fluorační činidlo za podmínek zahřívání k přímé fluoridaci oxidů vzácných zemin na bezvodýfluorid vzácných zemin. Fluorid vzácných zemina přebytek 30 % NH4F · Po smíchání se HF naplní do platinové nádoby, zahřeje se na 300 stupňů v ohřívací peci a ponechá se inkubovat po dobu 12 hodin, aby plně zreagoval.
Mokrý proces. Tato metoda zahrnuje přidání fluoridu (jako je kyselina fluorovodíková, bifluorid amonný atd.) do roztoku sloučenin vzácných zemin, promytí a vysušení výsledné sraženiny za účelem přípravyfluorid vzácných zemin. Proces zahrnuje pomalé přidávání kyseliny fluorovodíkové do roztoku vzácných zemin a přebytek 5 % až 10 %, aby se umožnilo úplné vysrážení fluoridu vzácných zemin za míchání. Výsledný hydratovaný fluorid se filtruje, promyje čistou vodou při 70 stupních a pH=5 až 6, poté suší, drtí a vakuově dehydratuje při 450 až 700 stupních a 1332,66x10-4Pa.